Al considerar el pulido de materiales duros, el carburo de silicio verde debe estar en la lista de materiales alternativos. La cerámica de nitruro de aluminio es un nuevo tipo de cerámica con alta conductividad térmica, resistencia al choque térmico, resistencia mecánica y resistencia a la flexión. Su dureza puede alcanzar los 12 Gpa y la dureza de Mohs es de 7-8. El carburo de silicio verde suele ser adecuado para el pulido de materiales como jade, cristal, vidrio de borosilicato, obleas de silicio, vidrio óptico, etc., con una dureza de Mohs de 6,5-7. Esto demuestra que el uso de SiC verde de 5 micrones para pulir sustratos de cerámica de nitruro de aluminio y componentes cerámicos también puede lograr un pulido eficiente.