Polvo fino de SiC para plato de vacío de cerámica porosa de SiC
La cerámica porosa de SiC tiene ventajas excelentes en comparación con otras cerámicas, como alta resistencia, excelente resistencia a la corrosión, resistencia a altas temperaturas, alta conductividad térmica, bajo coeficiente de expansión térmica y buena resistencia al choque térmico. Por lo tanto, es una cerámica ideal para mandriles de vacío en la industria de semiconductores para unión, corte, instalación de cintas, pulido, etc. El polvo fino de SiC es solo la materia prima para los mandriles de vacío de cerámica porosa de SiC .
Las ventajas del polvo fino de carburo de silicio negro para el mandril de vacío de cerámica porosa de SiC son:
1. Resistente al desgaste y resistente a altas temperaturas. Puede satisfacer las necesidades de funcionamiento continuo a largo plazo del mandril.
2. Baja tasa de expansión térmica, evitando fallas causadas por deformación de volumen.
3. Fuerte resistencia a la corrosión. El polvo fino de carburo de silicio no reacciona con el material de adsorción en condiciones de alta temperatura.
4. Fuerte estabilidad química, no se generará gas corrosivo ni cortocircuito en un entorno de vacío.
5. El tamaño de partícula del micropolvo de carburo de silicio es controlable. Es adecuado para la producción de mandriles de vacío de cerámica de carburo de silicio ultrafinos.
6. Después de la limpieza química y el lavado con agua, el contenido y el contenido de polvo ultrafino de carburo de silicio negro son muy bajos.
