Polvo de carburo de silicio verde en la industria de semiconductores

Con el declive del mercado de corte de alambre de oblea de silicio policristalino y monocristalino solar, el mercado nacional de corte de polvo de carburo de silicio verde se está reduciendo extremadamente. Pero en el campo del corte de alambre semiconductor, especialmente el corte del círculo interno de silicio monocristalino, porque el corte líquido de la línea de corte de carburo de silicio puede proteger la suavidad de la superficie de la oblea para que se corte mejor que el corte sólido de la línea de corte de diamante, Polvo de carburo de silicio tan verde http://greensiliconcarbide.com Siempre tenga un lugar en la industria de los semiconductores. Dado que el polvo de carburo de silicio cortado con alambre semiconductor tiene muchos requisitos diferentes para el rendimiento del material de los abrasivos tradicionales, también se plantean requisitos más altos en términos de calidad.

 

  1. Estándar de tamaño de partícula de carburo de silicio verde

Dado que la producción nacional de polvo de carburo de silicio para el corte de cables semiconductores comenzó tarde, los fabricantes nacionales de semiconductores inicialmente importaron productos de fabricantes reconocidos en países desarrollados, como ESK en Alemania y FUJIMI en Japón. Por lo tanto, algunos fabricantes nacionales de polvo de carburo de silicio adoptan en su mayoría estándares europeos (FEPA), estándares japoneses (JlS) y estándares estadounidenses (ANSI).

Sin embargo, dado que la mayor parte del polvo de carburo de silicio cortado con alambre semiconductor nacional se exporta a Japón, el estándar japonés se adopta ampliamente en el país. La mayor diferencia entre los estándares nacionales y extranjeros es que el índice de tamaño de partícula adoptado en el extranjero ha aumentado D0 (tamaño máximo de partícula), mientras que el estándar nacional no lo hace. En esta etapa, el estándar doméstico todavía se mantiene principalmente en el estándar de abrasivos y abrasivos ordinarios.

La industria de los semiconductores requiere que la distribución del tamaño de partículas del polvo de carburo de silicio verde se concentre tanto como sea posible para cumplir con los requisitos de precisión del corte de alambre.

 

  1. La composición química del carburo de silicio verde.

La composición química tiene un impacto sobre la forma cristalina y el efecto de uso del polvo de carburo de silicio. Cuanto mayor sea la composición química, mejor será el rendimiento general.

 

  1. La forma de las partículas del carburo de silicio verde

Como micropolvo cortado con alambre para semiconductores, la forma de las partículas tendrá un impacto significativo en el efecto de procesamiento de la muestra. En términos generales, a diferencia del mecanismo de molienda utilizado en el proceso de molienda, se requiere que el polvo de carburo de silicio utilizado para el corte de alambre semiconductor tenga un cierto valor de redondez, y las partículas deben tener bordes y esquinas afilados.

 

  1. Densidad aparente del carburo de silicio verde

La densidad aparente es otro indicador importante del polvo de carburo de silicio. Cuando el tamaño de partícula del micropolvo de carborundo está en el nivel de micras, su área superficial, energía superficial y energía de unión superficial aumentan rápidamente. Los principales factores que afectan la densidad aparente del micropolvo son el área de superficie específica, la energía de la superficie, la energía de unión a la superficie y la fuerza de interacción entre las partículas.

 

  1. Limpieza del carburo de silicio verde

Dado que el chip tiene un alto requisito de limpieza de la superficie, si la superficie del chip está contaminada por impurezas, el producto puede desecharse. Al cortar o pulir el chip, es fácil introducir impurezas, por lo que la limpieza de la superficie del polvo de corte de alambre semiconductor es relativamente alta. El polvo de carburo de silicio verde producirá una parte de carbono durante el proceso de fundición. En el proceso de cribado posterior, aunque el carburo de silicio en bruto se decapa, después de un triturado adicional, todavía queda una parte de carbono libre en el bloque de carburo de silicio. El proceso de producción de polvo de carburo de silicio verde es decapado después de la molienda, evitando el carbono libre residual en el tejido, y la pureza es mayor (puede alcanzar más del 99% de SiC)

 

 

  1. Contenido de residuos ácidos y alcalinos del polvo de carburo de silicio verde

El proceso de producción general de polvo micronizado es el proceso de decapado. En todo el proceso, si el lavado con agua no es lo suficientemente completo, se dejarán residuos ácidos e impurezas en la superficie de las partículas de micropolvo. Es posible que estos residuos no sean obvios en la etapa de micropolvo, pero si se convierte en un producto, mostrará diferencias de rendimiento, lo que afectará al producto. calidad.

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