Características del polvo de SiC verde para pulir superficies cerámicas de AlN
El sustrato cerámico de nitruro de aluminio (AlN) para PCB es un material de alto rendimiento que utiliza cerámica de nitruro de aluminio como base aislante y disipadora de calor, combinada con capas conductoras metálicas (generalmente cobre) para formar una placa de circuito impreso (PCB) para dispositivos electrónicos de alta potencia y alta frecuencia. El polvo de SiC verde para pulir superficies cerámicas de AlN ofrece una excelente tenacidad superficial. Se ha seleccionado porque ofrece cuatro ventajas que ningún otro abrasivo comercial puede igualar:
1. Ventana suficientemente dura/suficientemente blanda
(Knoop 2600–2800 kg mm⁻²) (≈ 30 % más dura que el AlN, 12 000 MPa), lo que permite moler el nitruro rápidamente. Sin embargo, su dureza es inferior a la del diamante, por lo que no genera grietas profundas subsuperficiales que afectarían la conductividad térmica del AlN (170–200 W m⁻¹ K).
2. Plaquitas de α-SiC
afiladas Las partículas afiladas y en forma de bloque dan lugar a una acción de microastillado en lugar de arado; la tasa de eliminación de material es varias veces mayor que la del Al2O3 blanco a la misma presión con un pulido eficiente.
3. Borde químico autolimitante.
La delgada capa de SiO₂ nativo (≈ 3 nm) que se forma en suspensión acuosa es ligeramente ácida (pH 4-5). Forma complejos con la tribopelícula de Al₂O₃ sobre AlN, produciendo un gel blando de Al-O-Si que lubrica el contacto, evitando el desprendimiento de los granos de AlN que normalmente causa picaduras con aspecto poroso.
- Especificación típica realmente adquirida para el paso de prepulido de AlN CMP
Grano: GC F360 (D50 26-30 µm) → GC F500(D50 15-17 µm)→ F800 (D50 7-8 µm) → F1000 (D50 4-5 µm)
Densidad aparente: 1,42 g cm-3 (suelto)
Superficie específica: 0,9 m2 g-1 (BET)
Potencial zeta: –45 mV a pH 9 (suspensión estable al 30 % en peso)
Tipo de cristal: 6H α-SiC ≥ 98 %
