Polvo de SiC negro 800# para equipos semiconductores – cerámica porosa de carburo de silicio
En los equipos de producción de semiconductores, los componentes cerámicos de alto rendimiento son esenciales. Especialmente las cerámicas de carburo de silicio son componentes importantes en equipos clave como máquinas de grabado, máquinas de litografía, máquinas de implantación de iones, etc. Por ejemplo, las ventosas de esmerilado y pulido, las ventosas de fotolitografía, las ventosas de inspección, los procesos de grabado y las plataformas de movimiento tienen la misma Presencia de cerámicas de carburo de silicio. Estos componentes cerámicos de carburo de silicio tienen buena estabilidad estructural, estabilidad térmica, resistencia al desgaste, resistencia a la corrosión y alta precisión dimensional. El polvo de carburo de silicio, como principal materia prima para producir cerámicas de carburo de silicio, también debe tener propiedades buenas y estables. Entre ellos, el polvo de SiC negro 800# para ventosas de cerámica de carburo de silicio poroso es una aplicación típica.
Con la producción refinada de polvo de SiC, las propiedades físicas y químicas y la estabilidad del tamaño de las partículas han logrado avances significativos. El polvo fino de SiC negro refinado mediante cribado, lavado con ácido alcalino y lavado con agua es más adecuado para los requisitos de campos de alta tecnología como los semiconductores. Las características específicas son las siguientes:
1. Estabilidad a altas temperaturas.
El polvo de SiC negro tiene un punto de fusión y una estabilidad térmica muy altos, lo que permite que las cerámicas porosas mantengan un buen rendimiento en entornos de alta temperatura.
2. Alta pureza.
Después del tratamiento químico y el lavado con agua, el polvo de carburo de silicio negro tiene un bajo contenido magnético, un bajo contenido de carbono libre y una buena fluidez y fácil dispersión.
3. Concentración de alto tamaño de partículas.
Alta consistencia en el tamaño de las partículas, rango estrecho de partículas de polvo y alta densidad de empaquetamiento. Puede mejorar la densidad de las cerámicas de carburo de silicio.
4. Excelentes propiedades mecánicas.
El SiC negro tiene alta dureza, resistencia y excelente resistencia a la compresión. Puede mejorar la resistencia mecánica y la resistencia al desgaste de las cerámicas porosas.
5. Fuerte estabilidad química.
El carburo de silicio negro tiene buena resistencia a la corrosión de ácidos, bases y la mayoría de sustancias químicas. Eso puede mejorar la estabilidad química y la resistencia a la corrosión de las cerámicas porosas.
6. Buena conductividad térmica.
Debido a la alta conductividad térmica del carburo de silicio negro, las cerámicas porosas pueden transferir y dispersar el calor de manera más efectiva.
7. Bajo coeficiente de expansión térmica.
El carburo de silicio negro tiene un coeficiente de expansión térmica más bajo. Ayuda a reducir el estrés térmico y el daño de las cerámicas porosas bajo cambios de temperatura.
8. Resistencia a la oxidación mejorada.
El SiC negro puede mejorar la resistencia a la oxidación de las cerámicas porosas y prolongar su vida útil.
En resumen, el uso de carburo de silicio negro como aditivo o material base para cerámicas porosas puede mejorar significativamente su estabilidad a altas temperaturas, propiedades mecánicas, estabilidad química y varias otras propiedades. Esas ventajas lo hacen más aplicable en ambientes de alta temperatura, alta presión y altamente corrosivos, especialmente en la industria de equipos semiconductores.
